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...精馏和内压缩流程等技术;可以生产高纯度的氧气和氩气,以及纯度达到1ppb的超高纯度氮气,应用于集成电路和芯片行业以满足客户的严苛技术要求。(烟台市蓬莱区发展和改革局)
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